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              低溫真空探針臺

              簡要描述:低溫真空探針臺 廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2023-09-18
              • 訪  問  量:3243
              詳細介紹
              品牌鄭科探

                低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺??梢詫Σ牧匣蚱骷M行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量,

                  低溫真空探針臺廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

                 KT-Z1604T探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

                   該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-20mm;z方向調節范圍:0-20mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測

              真空腔體

              腔體材質

              304不銹鋼

              上蓋開啟

              鉸鏈側開

              加熱臺材質

              304不銹鋼

              內腔體尺寸

              φ160x90mm

              觀察窗尺寸

              Φ70mm

              加熱臺尺寸

              φ60mm

              觀察窗熱臺間距

              75mm

              加熱臺溫度

              35-350

              加熱臺溫控誤差

              ±1

              真空度

              機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

              允許正壓

              ≤0.1MPa

              真空抽氣口

              KF25真空法蘭

              氣體進氣口

              3mm-6mm卡套接頭

              電信號接頭

              SMA轉BNC X 4

              電學性能

              絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

              探針數量

              4探針

              探針材質

              鎢針  

              探針尖

              10μm

              探針移動平臺

              X軸移動行程

              30mm    ±15mm

              X軸控制精度

              ≤0.01mm

              Y軸移動行程

              13mm    ±12.5mm

              Y軸控制精度

              ≤0.01mm

              Z軸移動行程

              13mm    ±12.5mm

              Z軸控制精度

              ≤0.01mm

              電子顯微鏡

              顯微鏡類別

              物鏡

              物鏡倍數

              0.7-4.5

              工作間距

              90mm

              相機

              sony 高清

              像素

              1920※1080像素

              圖像接口

              VGA

              LED可調光源

              顯示屏

              8

              放大倍數

              19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



               
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