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    小型濺射儀

    簡要描述:小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。

    • 產品型號:KT-Z1650PVD
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2023-09-08
    • 訪  問  量:1809
    詳細介紹
    品牌鄭科探濺射氣體根據需求氣體
    樣品臺尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
    樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
    靶材材質金 鉑 銅 銀價格區間1-5萬
    產地類別國產應用領域化工,電子

     

    一、公司背景介紹:  

    (1)鄭州科探儀器設備是高質量定制物理氣相沉積(PVD)系統的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。  

    (2)鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。  


    二、儀器描述:小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au/Pd)的薄膜。在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。  


    三、產品特點:  

    彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速。  

    通過觸摸屏中直觀檢測數據和曲線;歷史頁面可顯示歷史涂層信息。  

    可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構。  

    可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射。  

    樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。  

    標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

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    四、小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數:

    控制方式

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    功率

    ≤1000W

    輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    真空

    機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺

    可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

    樣品臺轉速

    8轉/分鐘

    樣品濺射源調節距離

    40-105mm

    真空測量

    皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口

     

     

     

     

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