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              小型真空探針臺高溫熱臺

              簡要描述:小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R主要用于為被測芯片提供一個高溫的變溫測量環境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。

              • 產品型號:KT-0904T-R
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2023-09-18
              • 訪  問  量:1176
              詳細介紹
              品牌鄭科探

              小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R

              高溫無氧化測試:
              當晶圓加熱至300,400,500甚至更高溫度時,氧化現象會
              越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤
              差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵
              抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,探針座位于腔體外部,可以在不破壞真空度的同時調整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。



              小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數


              真空腔體

              類型

              加熱型350   或者加熱制冷型 室溫到350 室溫到-190

              腔體材質

              304不銹鋼

              腔體內尺寸

              φ90x40mm

              腔體上視窗尺寸

              Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm

              腔體抽氣口

              KF16

              腔體進氣口

              公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

              腔體出氣口

              公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

              腔體正壓

              0.05MPa

              腔體真空度

              機械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

              樣品臺

              樣品臺材質

              304不銹鋼

              樣品臺尺寸

              26X26mm

              樣品臺-視窗 距離

              30mm(可選凹視窗間距15mm

              樣品臺測溫傳感器

              A    PT100鉑電阻

              樣品臺溫度

              室溫到350℃(可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)

              樣品臺測溫誤差

              ±0.2

              樣品臺變溫速率

              高溫10/min   低溫5/min  最大值

              溫控儀

              溫度顯示

              7寸人機界面

              溫控類型

              標準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

              溫度分辨率

              0.1

              溫控精度

              ±0.5

              溫度信號輸入類型

              PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

              溫控輸出

              直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

              輔助功能

              溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線

              探針

              電信號接頭

              配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

              電學性能

              絕緣電阻 4000MΩ     介質耐壓 200V    電流噪聲 10pA

              探針數量

              4探針(可定做6探針)

              探針材質

              鍍金鎢針

              探針尖

              10μm

              探針移動平臺

              X軸移動行程

              12mm    ±6mm

              X軸控制精度

              5μm

              Y軸移動行程

              12mm    ±6mm

              Y軸控制精度

              5μm

              Z軸移動行程

              12mm    ±6mm

              Z軸控制精度

              5μm

              數碼顯微鏡

              顯微鏡類別

              物鏡放大+電子放大

              顯微鏡放大倍數

              100

              顯微鏡工作間距

              50-150mm

              相機分辨率

              1080P  60  

              相機信號輸出

              HDMI輸出+USB輸出

              LED可調光源

              LED光源

              顯示屏

              5 屏幕一體機


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